曝光剂量修正(对于曝光剂量修正简单介绍)
发布者：王悦•
2023-04-30
摘要小伙伴们，你们好，今天云生来聊聊一篇关于曝光剂量修正，对于曝光剂量修正简单介绍的文章,网友们对这件事情都比较关注，那么现在就为大家
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小伙伴们，你们好，今天云生来聊聊一篇关于曝光剂量修正，对于曝光剂量修正简单介绍的文章,网友们对这件事情都比较关注，那么现在就为大家来简单介绍下，希望对各位小伙伴们有所帮助。
1、曝光剂量修正（dosemapper,DOMA）是ASML光刻机的一项功能，它能对曝光剂量做修正，提高曝光区域之间和曝光区域内部的线宽均匀性（inter-fieldCDU）和（intra-fieldCDU）。
2、具体的做法是，首先测量整个晶圆上的线宽数据，然后把这些数据上载到光刻机DOMA服务器。
3、服务器根据事先设定的（线宽-曝光能量关系）参数，计算出曝光剂量的修正值在晶圆表面的分布。
4、这一曝光剂量的修正以子程序（dosemappersub-recipe）的方式链接在下一次的曝光文件中。
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